晶圓檢測金相顯微鏡在當(dāng)下半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用還是非常廣泛的，我們通常稱之為晶圓檢測系統(tǒng)或晶圓搬送機。

以AWL系列晶圓檢測系統(tǒng)為例，晶圓在檢測前，匯光科技供應(yīng)的晶圓檢測系統(tǒng)先通過掃碼槍識別不同晶圓盒（如：Open Cassette、Metal Cassette、FOUP/FOSB等，然后再進(jìn)行Notch定位，然后再進(jìn)行晶圓宏觀、微觀檢查，下面小編簡單和大家介紹一下。

●晶圓檢測金相顯微鏡宏觀檢查

晶圓在微觀檢測之前，可先宏觀檢查，設(shè)備提供靈活簡易的操作控制搖桿，您可多角度傾斜觀察晶圓正反面，背面中心，邊緣等缺陷，另外由于不同晶圓制造車間燈光環(huán)境不同，您可以根據(jù)需求選配多種光源，如黃光、白光。

●晶圓檢測金相顯微鏡微觀檢查

晶圓微觀檢測，通過專用晶圓檢測金相顯微鏡，支持明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方法，您可以輕松觀察晶圓短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等問題。軟件也會輸出詳細(xì)的數(shù)據(jù)報告。

匯光科技供應(yīng)的晶圓檢測金相顯微鏡支持全檢，奇數(shù)檢，偶數(shù)檢，手動選擇等，大家可根據(jù)需求選擇檢測方法。另外我司供應(yīng)晶圓檢測金相顯微鏡除了AWL系列，還包括進(jìn)口奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)，支持多種尺寸晶圓檢測，感興趣的朋友可先來我司了解詳情哦。